特許

J-GLOBAL ID：200903011502896625

ノッチ付きウエハ揃え機構

発明者： 大霜 努
出願人/特許権者： 株式会社カイジョー
代理人 (1件)： 藤井 紘一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-248661
公開番号（公開出願番号）：特開2000-077501
出願日： 1998年09月02日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 複数枚のウエハのノッチ揃えを一括して行なうとともに、真空吸着パッドの跡などがつくおそれのないノッチ付きウェハ揃え機構を提供する。【解決手段】 水平状態で上下方向に多段配置された複数個のノッチ揃え用回転テーブル5a〜5eと、該多段配置された各回転テーブルをそれぞれ正逆両方向に自在に回転駆動可能な複数個のモータ6a〜6bと、ノッチ揃え位置に位置合わせして配設された複数個のノッチ検出センサ11a〜11eとを備え、各回転テーブル5a〜5eと一緒になって回転する各ウエハ1のノッチ1bの位置をそれぞれのノッチ検出センサ11a〜11eによって検出し、ノッチが当該センサ位置を通過した時点でモータ6a〜6eを一旦停止して低速で逆転し、検出したノッチが再び当該センサで検出された時にモータを停止する。また、各回転テーブルの上面にウエハ載置用の接触部9を複数個形成し、その上にウエハ1を載置する。

請求項（抜粋）：

水平状態で上下方向に多段配置された複数個のノッチ揃え用回転テーブルと、該多段配置された各回転テーブルをそれぞれ正逆両方向に自在に回転駆動可能な複数個のモータと、ノッチ揃え位置に位置合わせして配設された複数個のノッチ検出センサとを備え、各回転テーブル上に載置されて回転テーブルと一緒になって回転する各ウエハのノッチ位置をそれぞれのノッチ検出センサによって検出し、該検出したノッチが当該センサ位置を通過した時点でモータを一旦停止した後、低速で逆転し、検出したノッチが再び当該センサで検出された時にモータを停止するようにしたことを特徴とするノッチ付きウエハ揃え機構。

Fターム (5件)：

5F031BB09 ,  5F031CC19 ,  5F031GG02 ,  5F031GG19 ,  5F031MM04