特許
J-GLOBAL ID：200903011504629110
光学式表面欠陥検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉信 興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-278884
公開番号（公開出願番号）：特開平6-129995
出願日： 1992年10月16日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 スラブ表面の欠陥を表面の凹凸や色むら等の影響を受けずに高精度で検出する。【構成】 照明装置,拡散板,画像撮影装置および画像表示装置からなる。照明装置と画像撮影装置は検査対象材に立てた垂線を軸として光学対称に配置する。拡散板は微小レンズを2次元的に多数配置したアレイ板を用いる。【効果】 スラブ表面の欠陥を高精度で検出する事が可能となった。
請求項（抜粋）：
検査対象材を照明する照明装置;該照明装置の照明光を拡散する拡散装置;検査対象材の照明された部分を撮影する撮影装置;および、撮影画像または処理画像を表示する画像表示装置;を具備する事を特徴とする光学式表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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