物体形状検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-303476
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131037
出願日： 1998年10月26日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】微小物体の形状、異物付着等の検査を行なうことができ、コストの安価な物体形状検査装置を提供する。【解決手段】移動ステージを有し、被検査物体を所定位置に順次設定し、被検査物体を撮像した映像信号を画像処理することにより被検査物体の判定を行ない被検査物体の形状検査をする物体形状検査装置において、形状の検査対象である被検査物体を照明する、それぞれ検査対象物に対する照射角度が異なるように配置され、検査項目に合わせ切換え点灯される複数の照明手段と、照明手段により照明された被検査物体を撮像し、映像信号を出力する撮像手段と、撮像手段から入力される映像信号をディジタル化したデータと、あらかじめ記憶した被検査物体に関する照明手段の各照明角度の照明に対応した基準データと比較し、あらかじめ記憶した所要の検査項目ごとに処理、判定し、検査結果データと所要の制御データを出力する画像処理判定手段とを有する。

請求項（抜粋）：

移動ステージを有し、被検査物体を所定位置に順次設定し、前記被検査物体を撮像した映像信号を画像処理することにより前記被検査物体の判定を行ない前記被検査物体の形状検査をする物体形状検査装置において、形状の検査対象である前記被検査物体を照明する、それぞれ検査対象物に対する照射角度が異なるように配置され、所要の検査項目に合わせ切換え点灯される複数の照明手段と、該照明手段により照明された被検査物体を撮像し、映像信号を出力する撮像手段と、該撮像手段から入力される前記映像信号をディジタル化したデータと、あらかじめ記憶した前記被検査物体に関する前記照明手段の各照明角度の照明に対応した基準データと比較し、あらかじめ記憶した所要の検査項目ごとに処理、判定し、検査結果データを出力するとともに、所要の制御データを出力する画像処理判定手段とを有することを特徴とする物体形状検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 , G06T 7/00 , H01L 21/66 , H01L 21/60

FI (4件)：

G01B 11/24 K , H01L 21/66 J , G06F 15/62 405 A , H01L 21/92 604 T

Fターム (44件)：

2F065AA03 , 2F065AA14 , 2F065AA24 , 2F065AA25 , 2F065AA26 , 2F065AA49 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065GG07 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ19 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065PP12 , 2F065QQ21 , 2F065QQ24 , 2F065QQ32 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 4M106AA01 , 4M106AD09 , 4M106CA38 , 4M106CA41 , 4M106DB04 , 4M106DB07 , 4M106DB19 , 4M106DB21 , 4M106DJ01 , 4M106DJ06 , 4M106DJ11 , 4M106DJ18 , 5B057AA03 , 5B057BA15 , 5B057BA19 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DC09 , 5B057DC33

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