特許

J-GLOBAL ID：200903011512921237

薄膜の厚さを測定する装置および方法

発明者： アンソニー・エム・レッジャー
出願人/特許権者： ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-327018
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248825
出願日： 1992年12月07日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、ウェハ表面の外側層の厚さを表面を機械的に走査せずに効率よく正確に測定する手段を提供することを目的とする。【構成】 材料層24の前面および後面から反射された放射線が照射領域中の層24の厚さに対応した特性を有するように、白色光源10よりの光をフィルタ17で単色光にし、集光レンズ12で集束した単色放射線15を使用して集束レンズ16,20,22により集束したビーム23により層24の前面領域を照射する手段と、反射された放射線をミラー25またはビーム分割器60で分離して受信し、前記特性を検出するCCDカメラ検出器アレイ31と、既知の厚さに対応した1組の基準特性と受信された放射線の特性を比較し、領域中の層の厚さに対応した出力を供給するコンピュータ36とを具備していることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

放射線を透過する特性を有している材料層の厚さの測定装置において、材料層の前面および後面から反射された放射線が領域中の層の厚さに対応した特性を有するように、集束された単色放射線により層の前面領域を照射する手段と、反射された放射線を受信し、前記特性を検出する手段と、既知の厚さに対応した1組の基準特性と受信された放射線の特性を比較し、領域中の層の厚さに対応した出力を供給する手段とを具備している測定装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-076904
  
• 特開昭50-031852
  
• 特開昭61-075203
  
• 特開平1-206203