特許
J-GLOBAL ID：200903011513573445
温度センサ及びその製造方法並びに製造管理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-390951
公開番号（公開出願番号）：特開2002-188966
出願日： 2000年12月22日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、応答性に優れた温度センサ及びその製造方法並びに製造管理方法を提供することを目的とする。特には、燃焼器具や内燃機関の排気温度測定用途の、高温下での使用に適した高温用温度センサ等を提供する。【解決手段】 感熱体と、この感熱体を気密に囲む中空部を形成するセラミック体と、を備え、このセラミック体の表面に凹凸や内部に空隙等が形成される温度センサであり、感熱体は、中空部を形成するセラミック部の感熱面側に配置する。中空部は、温度センサの中心から感熱面側に偏った位置に形成する。セラミック体は、感熱体を備える感熱面側セラミック層と、開口部を有するスペーサーセラミック層と、基材となる基材セラミック層とから構成される。また、セラミック体の表面に凹凸を形成し、且つセラミック体に貫通孔等を併設したりすることで、温度センサの応答性をより向上できる。
請求項（抜粋）：
感熱体と、該感熱体を気密に囲む中空部を有するセラミック体と、を備え、該セラミック体の表面に複数の凹凸が形成されていることを特徴とする温度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2F056QF01
, 2F056QF08
, 5E034BA09
, 5E034BB05
, 5E034DA02
, 5E034DB03
, 5E034DE14
, 5E034DE19
, 5E034DE20
