特許
J-GLOBAL ID：200903011516090666
3次元形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 隆男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159829
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327338
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 被測定物の被測定面の傾きに起因する測定誤差を低減し、安定して高い精度で被測定物の3次元形状を測定できる3次元形状測定装置を提供する。【構成】 被測定物17に対してスリット状の照射光を照射する照射部16aと、2次元配列された複数の受光素子からなる受光部16bとを備えた光距離測定器16と、光距離測定器16と被測定物17との間の相対位置を設定及び変更する位置設定変更機構11、13〜15と、所定の相対位置となるよう位置設定変更機構を制御する第1の制御部20aと、受光センサの出力信号を用いて、データ作成用の出力信号を選択する信号選択部20bと、信号選択部20bから測定不能を示す信号が出力された場合修正した相対位置となるよう位置設定変更機構を制御する第2の制御部20a’と、信号選択部20bの出力信号に基づいて、3次元形状データを作成する形状データ作成部20cとを備えた制御・処理部20で構成される。
請求項（抜粋）：
少なくとも、被測定物に対してスリット状の照射光を照射する照射部と、2次元配列された複数の受光素子からなる2次元受光センサを有する受光部であって、前記照射光による前記被測定物からの反射光を前記2次元受光センサ上で受光する受光部とを備えた光距離測定器と、前記光距離測定器と前記被測定物との間の相対位置を設定及び変更する位置設定変更機構と、前記相対位置が所定の複数の相対位置となるように前記位置設定変更機構を制御する第1の制御部と、各相対位置における前記2次元受光センサの出力信号を用いて、被測定物からの反射光像の幅及び最大輝度が所定範囲内にあるか否かを検知することにより、データ作成用の出力信号を選択する信号選択部であり、データ作成用の出力信号が選択できないときに、測定不能を示す信号を出力する機能を有する信号選択部と、前記信号選択部から測定不能を示す信号が出力された相対位置に対して修正を行うと共に、修正した相対位置となるように前記位置設定変更機構を制御する第2の制御部と、前記信号選択部により選択された出力信号に基づいて、前記被測定物の3次元形状データを作成する形状データ作成部と、を備えた3次元形状測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01C 3/06
, G06T 7/00
, G06T 1/00
G01B 11/24 C
, G01C 3/06 A
, G06F 15/62 415
, G06F 15/64 M
