特許
J-GLOBAL ID：200903011516499980
ウエハ保持機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-097870
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294618
出願日： 1999年04月05日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 機構の交換なしに、オリフラが設けられたウエハとノッチが設けられたウエハとを正確な位置に保持するウエハ保持機構を提供することをを課題とする。【解決手段】 ウエハ103が載置されるテーブル105と、テーブル105上に設けられ、ウエハ103に形成されたオリフラ101の複数の箇所に当接可能な第一及び第二のオリフラ当接ローラ(オリフラ当接部)111,113と、テーブル105上に設けられ、ウエハの円周面が当接可能な当接ローラ(当接部)115と、テーブル105上に設けられ、ウエハ103の円周面を第一及び第二のオリフラ当接ローラ111,113に向かって押圧する第一の押圧ピン(第一の押圧部)117と、テーブル105上に設けられ、ウエハ103の円周面を当接ローラ115に向かって押圧する第二の押圧ローラ(第二の押圧部)119とを設け、第一の押圧ピン117をウエハに形成されたノッチに係合可能な形状とする。
請求項（抜粋）：
ウエハが載置されるテーブルと、該テーブル上に設けられ、前記ウエハに形成されたオリフラの複数の箇所に当接可能な複数のオリフラ当接部と、前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面が当接可能な当接部と、前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記オリフラ当接部に向かって押圧する第一の押圧部と、前記テーブル上に設けられ、前記ウエハの円周面を前記当接部に向かって押圧する第二の押圧部と、を設け、前記第一の押圧部、前記第二の押圧部のうち、どちらか一方を前記ウエハに形成されたノッチに係合可能な形状としたことを特徴とするウエハ保持機構。
Fターム (7件)：
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA12
, 5F031KA02
, 5F031KA13
, 5F031KA14
, 5F031PA26
