特許

J-GLOBAL ID：200903011517542749

露光方法及び装置、並びに液晶表示装置

発明者： 太田 和俊
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 北野 好人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-197375
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038638
出願日： 1997年07月23日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】 1レイヤの露光を複数のショットにより構成する露光方法において、ショット間の繋ぎ部におけるパターン寸法の急激な変化を防止する露光方法及び装置を提供する。また、色ムラがなく、大面積、高精細の液晶表示装置を提供する。【解決手段】 複数のショットにより一のレイヤを露光する露光方法において、第1の領域に隣接する第2の領域を露光する際に、第1の領域の露光に用いる第1のレチクルの露光量とパターンサイズとの関係と、第2の領域の露光に用いる第2のレチクルの露光量とパターンサイズとの関係とを参照し、第2の領域を露光するための露光条件を決定する。

請求項（抜粋）：

複数のショットにより一のレイヤを露光する露光方法において、第1の領域に隣接する第2の領域を露光する際に、前記第1の領域の露光に用いる第1のレチクルの露光量とパターンサイズとの関係と、前記第2の領域の露光に用いる第2のレチクルの露光量とパターンサイズとの関係とを参照し、前記第2の領域を露光するための露光条件を決定することを特徴とする露光方法。

IPC (4件)：

G03F 7/20 521 ,  G02F 1/13 101 ,  G03B 27/32 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  G02F 1/13 101 ,  G03B 27/32 F ,  H01L 21/30 514 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-084764   出願人：株式会社ニコン