圧電/電歪膜型アクチュエータ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島三千雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082634
公開番号（公開出願番号）：特開平8-116684
出願日： 1990年05月01日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：

【要約】【目的】相対的に低駆動電圧で大変位が得られ、応答速度が速く且つ発生力が大きく、また高集積化が可能である圧電/電歪膜型アクチュエータを提供すること。【構成】圧電/電歪膜型アクチュエータにおいて、第一の電極膜4と圧電/電歪膜6と第二の電極膜8とを順次層状に積層せしめた構造の圧電/電歪駆動部を、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、窒化アルミニウム、窒化珪素のうちの何れか1種以上を主成分とするセラミック材料の多結晶体よりなり、且つ該多結晶体の少なくとも前記圧電/電歪駆動部の形成部位の少なくとも結晶粒界に、鉛元素が酸化物等の形態にて存在せしめられているセラミック基板2上に、形成した。

請求項（抜粋）：

第一の電極膜と圧電/電歪膜と第二の電極膜とを順次層状に積層せしめてなる構造の圧電/電歪駆動部、若しくは所定の間隔を隔てて位置する複数の帯状電極膜間にそれら電極膜と接するように圧電/電歪膜を設けてなる構造の圧電/電歪駆動部を、所定のセラミック基板上に形成してなる圧電/電歪膜型アクチュエータにおいて、前記セラミック基板が、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、窒化アルミニウム、窒化珪素のうちの何れか1種以上を主成分とするセラミック材料の多結晶体よりなり、且つ該多結晶体の少なくとも前記圧電/電歪駆動部の形成部位における少なくとも結晶粒界に、鉛元素が存在せしめられていることを特徴とする圧電/電歪膜型アクチュエータ。

IPC (5件)：

H02N 2/00 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/09 , H01L 41/22

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A , H01L 41/08 C , H01L 41/22 Z

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