特許

J-GLOBAL ID：200903011524766547

試料分析方法および試料分析装置

発明者： 境 悠 治
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-269098
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097889
出願日： 1998年09月24日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 エッチングを行うことなく、全反射光電子分光法を用いた分析で、試料極表面とそれより深いところの元素分析を行うことができる試料分析方法および試料分析装置を提供すること。【解決手段】 X線モノクロメータ分光結晶6で分光されたAlkα線は全反射角度で試料に入射する。試料7から放出された光電子は電子分光器11で検出され、試料分析手段21は、試料7の極表面の元素情報を得る。また、試料7から放出された蛍光X線は検出器16で検出される。蛍光X線の脱出深さは光電子の脱出深さに比べて深く、検出された蛍光X線は試料表面から約数μmのところの元素情報を有しており、第2の試料分析手段22の分析結果から、試料極表面より深いところの元素情報を得ることができる。

請求項（抜粋）：

X線を全反射条件で試料に照射し、そのX線照射により試料から放出される光電子を検出して、検出した光電子に基づいて試料極表面の元素情報を得ると同時に、前記X線照射により試料から放出される蛍光X線を検出して、検出した蛍光X線に基づいて前記試料極表面より深いところの元素情報を得ることを特徴とする試料分析方法。

IPC (2件)：

G01N 23/227 ,  G01N 23/223

FI (2件)：

G01N 23/227 ,  G01N 23/223

Fターム (20件)：

2G001AA01 ,  2G001AA09 ,  2G001BA04 ,  2G001BA08 ,  2G001CA03 ,  2G001DA06 ,  2G001EA02 ,  2G001EA03 ,  2G001EA04 ,  2G001EA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA05 ,  2G001GA13 ,  2G001GA16 ,  2G001JA03 ,  2G001JA12 ,  2G001KA01 ,  2G001KA13 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05