特許

J-GLOBAL ID：200903011525174554

クリーンルーム用保管庫

発明者： 河野 等 ,  奥野 敦 ,  津田 正徳 ,  林 満弘 ,  山下 哲平 ,  村田 正直 ,  田中 幹 ,  森田 日也 ,  中村 昭生
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-008663
公開番号（公開出願番号）：特開平6-156622
出願日： 1992年01月21日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ウエハカセットを気密性のコンテナに収納し、保管庫内を高度の清浄雰囲気、不活性雰囲気にするための構造や機器・装置が不要であり、機器・装置の故障やこれらの電源喪失等に起因するウエハ汚染や自然酸化膜の成長が生じる恐れもなく、また保管庫内のメンテナンス作業も自由に行なうことが可能なクリーンルーム用保管庫を提供する。【構成】 保管ユニット10の各保管セクションに対して保管物を出し入れする移載機構を搭載した移載装置20を備え、クリーンルーム内に設けられる保管庫1において、出し入れされる保管物はパーティクル汚染または/および化学汚染を嫌う物品Wを気密に収納可能なコンテナ40であり、コンテナ40に対して物品を自動的に出し入れする装置30を備えている。

請求項（抜粋）：

保管セクションを有する保管ユニットと、この保管ユニットの各保管セクションに対して保管物を出し入れする移載機構を搭載した移載装置とを備え、クリーンルーム内に設けられる保管庫において、上記出し入れされる保管物はパーティクル汚染または/および化学汚染を嫌う物品を気密に収納可能なコンテナであり、当該コンテナに対して前記物品を自動的に出し入れする装置を備えていることを特徴とするクリーンルーム用保管庫。

IPC (2件)：

B65G 1/02 ,  B65G 1/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-022405
  
• 特開平3-001554
  
• 特開平2-065152
  
• 特開平2-153546