特許
J-GLOBAL ID：200903011538416980
着色感光性樹脂組成物用現像液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-159639
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010749
出願日： 1996年06月20日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】現像後の非画像部の残渣、パターンの剥がれ、膜ベリの改善された着色感光性樹脂組成物用現像液を提供する。【解決手段】着色感光性樹脂組成物用現像液は、ポリオキシアルキレン誘導体であるアニオン系界面活性剤及び芳香族基を有するアニオン系界面活性剤の両者を含むアルカリ水溶液もしくは、分子構造中長鎖アルキル基と芳香族基を有する界面活性剤を含むアルカリ水溶液からなる。
請求項（抜粋）：
(A)ポリオキシアルキレン誘導体であるアニオン性界面活性剤の少なくとも一種及び(B)芳香族基を有するアニオン系界面活性剤の少なくとも一種を含むアルカリ水溶液であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物用現像液。
IPC (5件)：
G03F 7/32
, B01F 17/52
, C11D 1/29
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
G03F 7/32
, B01F 17/52
, C11D 1/29
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
