特許
J-GLOBAL ID：200903011538580470
AFMカンチレバー及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-261165
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090288
出願日： 1996年09月11日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 先端が外側に拡がっている探針部をもつ、トレンチホール側壁評価に適したAFMカンチレバーにおいて、側壁観察精度の向上を図る。【解決手段】 膜厚が数百nm〜数μmの窒化シリコン膜からなるカンチレバー部13の自由端近傍に、該カンチレバー部13と一体的に形成された窒化シリコン膜製の探針部11を設け、該探針部11には外側に拡がった先端部12が形成されており、カンチレバー部13の背面には支持部14を固着してAFMカンチレバーを構成する。このようにカンチレバー部13を窒化シリコン膜で形成しているため、薄いカンチレバー部を容易に形成することができ、側壁観察精度を向上させることが可能となる。
請求項（抜粋）：
支持部より伸びた窒化シリコン膜製カンチレバー部の自由端近傍に、該カンチレバー部と一体的に窒化シリコン膜製探針部が前記支持部配設側の反対側へ突出形成され、該窒化シリコン膜製探針部の先端部が外側に拡がった形状に構成されていることを特徴とするAFMカンチレバー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
