電極の接続装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108108
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317624
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】プローブを用いる半導体検査用の電極の接続装置において、従来より高密度、狭ピッチの電極に対応して、プローブ長をより短く、簡易な構造であって、電極との接触圧の調整を容易にする。【構成】チューブ保持用基板30内に形成されたスルーホールに挿入されたスプリングプローブにおいて、そのプローブ26は、可動ピン26bと可動するチューブ26aとその間にはさみこまれたばね26cからなり、適宜、可動ピン保持用基板28でプローブ26の脱落を防止し、ばね26cの弾性力で、一方の電極32をチューブ26aに接触させ、他方の電極25を可動ピン26bに接触させ、プローブ26全体で電極間の導通を確保する。

請求項（抜粋）：

対向する電極間にプローブを接触させ、そのプローブを通して電気信号を伝送する電極の接続装置において、前記対向する電極間に位置するスルーホールを有する基板と、前記スルーホールに挿入するプローブとを備え、このプローブは、前記対向する電極の一方の電極に接する可動ピンと、他方の電極に接するチューブと、前記可動ピンと前記チューブとの間に前記両者に弾性力を付与するばねとからなり、前記チューブを前記スルーホールに摺動自在に挿入することを特徴とする電極の接続装置。

IPC (2件)：

G01R 31/02 , G01R 1/073

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭64-071141
特開平4-270967
特開平4-362312

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