特許
J-GLOBAL ID：200903011547404340
エアフィルターの使用方法および製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-120058
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029020
出願日： 1996年05月15日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：
【要約】【課題】クリーンルーム内の空気中に有機物が存在しないようにする。【解決手段】クリーンルームの空気導入経路に配設されるエアフィルター6に対して、以下のような有機物除去処理を行う。すなわち、エアフィルター6をステンレス製のオートクレーブ1内に入れて蓋をし、オートクレーブ1の内部の温度を100°Cに保持しながら、ボンベ2から高純度空気を導入してオートクレーブ1内を通過させる。このような処理がなされたエアフィルター6を、クリーンルームの空気導入経路に配設する。
請求項（抜粋）：
空気中の浮遊粒状物質を捕集する乾式エアフィルターに対して有機物を除去する処理を施した後に、当該エアフィルターをクリーンルームの空気導入経路に配設することを特徴とするエアフィルターの使用方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 39/00 B
, B01D 46/00 Z
