特許
J-GLOBAL ID：200903011568696848
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123336
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308161
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 製造組立時にプローブ針設置空間に外部から観察およびアクセスが可能であり組立後のメンテナンスも可能なプローブ装置を提供する。【構成】 本発明によれば、プローブ針案内部が分離可能な構成部材から構成し、特に内側案内手段をフレーム化することにより、外部からの観察およびアクセスを容易にしているので、組立が容易となるばかりでなく、組立後の修理やメンテナンスも可能である。
請求項（抜粋）：
被検査基板の電極に電気的に接触し試験信号を送受信するためのプローブ針と、そのプローブ針を前記被検査基板の電極に対して案内する案内手段を備えるとともに外部テスタと前記被検査基板との間にあって前記試験信号を送受信するためのプローブカードとを備えたプローブ装置において、前記案内手段は、前記プローブ針を保持するための保持部を備えた内側案内手段とその内側案内手段を覆う外側案内手段とから構成され、前記内側案内手段の壁部にはその内部空胴に設置される前記プローブ針に外部からアクセス可能な少なくとも1つの開口部が設けられており、前記外側案内手段は前記開口部を塞ぐように前記内側案内手段を前記プローブカードの天板部に対して支持固定することが可能であることを特徴とする、プローブ装置。
IPC (3件)：
G01R 1/067
, G01R 31/26
, H01L 21/66
