特許

J-GLOBAL ID：200903011571482948

マイクロ波管用出力部窓材

発明者： 河合 英正
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-121520
公開番号（公開出願番号）：特開平5-334967
出願日： 1992年05月14日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】ピルボックス構造型のマイクロ波管用出力部が動作時において、出力窓セラミックス上で高周波放電が起こるためにマイクロ波を導出できなくなるのを防ぐ。【構成】円板状の出力窓セラミックス2の表面に焼結助剤が面積比で50%以上存在し、かつ、その表面粗さが0.6μm以下になるよう調製する。これにより出力窓セラミックス2表面の二次電子放出係数が下がり、セラミックス表面上で高周波放電が発生することを防ぐ。

請求項（抜粋）：

セラミックスの表面にシリカを主成分とする焼結助剤が前記セラミックスの表面積に対して少くとも50%存在し、かつ、前記セラミックスの表面の平均表面粗さが0.6μm以下であることを特徴とするマイクロ波管用出力部窓材。