特許

J-GLOBAL ID：200903011573715133

物品取扱部材およびその製造方法および収納容器ならびに物品取扱装置

発明者： 天田 春男 ,  石川 勉 ,  光石 正弘 ,  井上 健 ,  末崎 穣
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  積水化学工業株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-094040
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288190
出願日： 1995年04月19日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 物品を清浄かつ高純度な状態で保持するとともに、保持した板状物の静電破壊を防止することが可能な物品取扱技術を提供する。【構成】 アース接地端子25を介して接地されたモータシャフト24に装着され、真空排気口29を介して吸引されるウェハ吸着溝28aが刻設されたウェハ吸着面28上に半導体ウェハ20を吸着固定して回転させる導電性真空吸着スピンヘッド21は、母材22の表面を所望の方法によって改質した後、導電性樹脂被膜23が形成された構造を呈し、導電性樹脂被膜23は金属成分を含まない導電性樹脂材料で構成され、当該導電性樹脂被膜23の表面抵抗値は、たとえば106 (Ω/sq.)〜1011(Ω/sq.)に制御され、ウェハ吸着面28に載置される半導体ウェハ20に帯電した静電気は、導電性樹脂被膜23およびアース接地端子25を介して徐放電されるようにしたものである。

請求項（抜粋）：

所望の形状の母材表面を改質し、この母材表面に導電性ポリマー、または、導電性ポリマーと硬化性樹脂の混合剤を被覆してなることを特徴とする物品取扱部材。

IPC (6件)：

H01L 21/02 ,  B65D 85/86 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68 ,  H01L 23/60 ,  H05F 3/02

FI (8件)：

H01L 21/02 Z ,  B65G 49/07 E ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  H05F 3/02 N ,  H05F 3/02 L ,  B65D 85/38 R ,  H01L 23/56 B