特許

J-GLOBAL ID：200903011589277446

原盤露光装置

発明者： 木村 信夫 ,  柳 雅士 ,  角谷 匡規 ,  山根 知幸 ,  伊藤 捷
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立マクセル株式会社
代理人 (1件)： 沼形 義彰 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157418
公開番号（公開出願番号）：特開2000-348370
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 合焦用レーザ9と記録用レーザ2の片方が平行光学系でない場合、原盤15の板厚が変化すると、両者の焦点にずれが生じるためいずれかのレーザの焦点を一致させる調整が必要となるが、本発明はこの問題を解決する。【解決の手段】 記録レンズ7に入射直前の合焦用レーザに所定の角度を付与する光学系9,19を記録レンズ7を固定した昇降台14上にとり付け、記録レンズと上記の光学系の距離を常に一定にする。原盤の板厚が変化してもいずれかのレーザ光学系を調整しレーザの焦点を一致させる必要がない。

請求項（抜粋）：

波長の異なる記録用レーザ光と合焦用レーザ光に対し焦点距離の異なる記録レンズと、原盤の面に対し半径方向に移動する移動テーブルと、前記移動テーブルに設置され原盤の面に対して垂直方向に移動し前記記録レンズを保持する昇降台を有する原盤露光装置において、記録レンズに入射前の合焦用レーザ光に所定の入射角を付与するレンズを前記昇降台上に設置したことを特徴とする原盤露光装置。

IPC (5件)：

G11B 7/135 ,  B23K 26/06 ,  G11B 7/09 ,  G11B 7/125 ,  G11B 7/26 501

FI (5件)：

G11B 7/135 Z ,  B23K 26/06 E ,  G11B 7/09 B ,  G11B 7/125 B ,  G11B 7/26 501

Fターム (28件)：

4E068AH00 ,  4E068CA01 ,  4E068CA04 ,  4E068CD08 ,  4E068CD13 ,  4E068DA11 ,  5D118AA16 ,  5D118AA19 ,  5D118BA01 ,  5D118BB09 ,  5D118BF03 ,  5D118CA11 ,  5D118CC07 ,  5D118CD02 ,  5D118DC03 ,  5D118DC04 ,  5D118DC05 ,  5D118EB02 ,  5D118EB03 ,  5D119AA23 ,  5D119BA01 ,  5D119BB09 ,  5D119DA01 ,  5D119JA12 ,  5D119JA32 ,  5D119JA43 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38