特許

J-GLOBAL ID：200903011599068713

合成石英ガラス粉の製造方法

発明者： 木村 一臣 ,  宇都宮 明 ,  下山 勝 ,  永井 浩昭
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-306497
公開番号（公開出願番号）：特開平7-157308
出願日： 1993年12月07日
公開日（公表日）： 1995年06月20日
要約：

【要約】【目的】 超高純度石英ガラス製品の原料として好適な石英ガラス粉。【構成】 テトラアルコキシシランの加水分解により得たシリカゲルの粉末を焼成することによりご合成石英ガラス粉を製造する際、焼成時に該シリカゲル粉末を流動させながら焼成することを特徴とする合成石英ガラス粉の製造方法。

請求項（抜粋）：

テトラアルコキシシランの加水分解により得たシリカゲルの粉末を焼成することにより合成石英ガラス粉を製造するにあたり、焼成時に、該シリカゲル粉末を流動させながら焼成することを特徴とする合成石英ガラス粉の製造方法。