特許
J-GLOBAL ID：200903011601732340
異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-105029
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292345
出願日： 1996年04月25日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：
【要約】【課題】 平坦状の異物の検出が可能な異物検査装置を提供する。【解決手段】 フォトマスク上の異物を検出する異物検査装置は、第1及び第2の光束を射出する照明手段と、第1の光束をフォトマスクの一の面から他の面へと入射且つ透過させて第3の光束を形成する第1入射手段と、第2入射手段であって、第2の光束をフォトマスクの他の面から一の面へと入射且つ透過させて第4の光束を形成し且つ第4の光束を一の面から他の面へと入射且つ透過させて第5の光束を形成するものと、第3及び第5の光束の間の相対的な位相差を調整する位相差調整手段と、第3及び第5の光束の光波の振幅の少なくとも一方を調整する振幅調整手段と、相対的な位相差及び振幅が調整された第3及び第5の光束を合成する合成手段と、合成手段によって合成された光束の強度分布を観察する観察手段とを具備している。
請求項（抜粋）：
所定のパターンが描画されているフォトマスク上の異物を光学的に検出する異物検査装置であって、第1の光束と第2の光束とを射出する照明手段と、前記第1の光束を前記フォトマスクの一の面から他の面へと入射且つ透過させ、もって第3の光束を形成する第1光束入射手段と、第2光束入射手段であって、前記第2の光束を前記フォトマスクの前記他の面から前記一の面へと入射且つ透過させて第4の光束を形成し、形成した前記第4の光束を前記一の面から前記他の面へと入射且つ透過させ、もって第5の光束を形成するものと、前記第3の光束と前記第5の光束との間の相対的な位相差を調整する位相差調整手段と、前記第3の光束の光波の振幅及び前記第5の光束の光波の振幅の少なくとも一方を調整する振幅調整手段と、それらの間の相対的な位相差が調整され且つそれらの光波の振幅の少なくとも一方が調整された前記第3の光束と前記第5の光束とを合成する光束合成手段と、前記光束合成手段によって合成された光束の強度分布を観察する観察手段と、を具備する異物検査装置。
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, G01N 21/88 J
