特許

J-GLOBAL ID：200903011603142362

検査装置及び検査方法

発明者： 小松 宏一郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-325296
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142345
出願日： 1997年11月11日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 観察者が反射光により眩惑されず、また、パターンによる回折光に拘わらず膜厚むらを判別できる外観検査装置及び外観検査方法を提供する。【解決手段】 被検物体W1からの散乱光を目視で観察することにより被検物体W1の外観を検査する検査装置において、被検物体W1に対して照明光を斜め方向から照射する照明系1を設け、照明系1は、照明系1側に前記目視による観察方向が位置するように設定されている外観検査装置。目視による観察方向が照明系1側に位置するように設定されているので、照明光の被検物体W1による正反射光が直接観察者の目に入射することがない。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成された基板と該基板上に形成された薄膜とを有する被検物体に対して複数の波長領域を含む照明光を照射する照明系を配置し;前記被検物体からの反射光又は回折光を目視で観察することにより前記被検物体の外観を検査するように構成されたことを特徴とする;検査装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-002107
  
• 特開平2-189447
  
• 基板外観検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-158126   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開昭62-043504