特許
J-GLOBAL ID：200903011604543441
ドライ真空ポンプ後段用のトラップ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-251834
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072493
出願日： 1995年09月04日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】[課題] ドライ真空ポンプ内では凝縮されないが、常温・常圧またはその近辺で固化または液化する凝縮ガスを補集するための長寿命のトラップを提供すること。[解決手段] ハウジング11の底面に立てたセンターシャフト15に対し、それぞれスペーサ16の個数を調整し間隙を漸減させながら凝縮板171 、172、...、176 および277 、278 、279 を取り付ける。また、各凝集板の流路部分181 、182 、...、186 および287 、288 、289 の開口面積を漸減させる。また、ガス導入口12の近傍に冷却ガス導入口21を設ける。
請求項（抜粋）：
ドライ真空ポンプの後段に設置され、ハウジング内に排気ガスの流路を形成して前記排気ガス中の凝縮ガスを凝縮させるための単数または複数の凝縮板が取り付けられているドライ真空ポンプ後段用のトラップにおいて、前記ハウジングに設けられたガス導入口からガス導出口に至る間の前記流路の抵抗が傾向的に漸増されていることを特徴とするドライ真空ポンプ後段用のトラップ。
IPC (3件)：
F16T 1/18
, B01D 8/00
, F04C 25/02
F16T 1/18
, B01D 8/00 Z
, F04C 25/02 Z
