特許
J-GLOBAL ID：200903011606939369
電磁力駆動スキャニングマイクロミラー及びこれを使用した光スキャニング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-010530
公開番号（公開出願番号）：特開2006-201783
出願日： 2006年01月18日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：
【課題】本発明は、電磁力駆動スキャニングマイクロミラーに関し、より詳細には、電磁力を利用して入力光を反射させるミラーを回転駆動することによって、反射光の経路を変調する光スキャニング素子(optical scanning device)である電磁力駆動スキャニングマイクロミラーに関する。【解決手段】本発明の電磁力駆動スキャニングマイクロミラーは、磁界を供給する磁界発生部と、反射面及び前記反射面の後面に付着されるフレーム構造物で形成されるミラー板と、前記ミラー板を囲む基板と、前記ミラー板と前記基板との間に連結される一対のトーションバーと、前記ミラー板の反射面の後面に形成され、前記磁界の発生部から供給される磁界との相互作用によって駆動力を発生させる磁性体を含み、前記ミラー板は、前記磁性体から発生する駆動力によって前記トーションバーを中心軸として回転駆動されることを特徴とする。【選択図】図3a
請求項（抜粋）：
磁界を供給する磁界発生部と、
反射面及び前記反射面の後面に付着されるフレーム構造物で形成されるミラー板と、
前記ミラー板を囲む基板と、
前記ミラー板と前記基板との間を連結する一対のトーションバーと、
前記ミラー板の反射面の後面に形成され、前記磁界の発生部から供給される磁界との相互作用によって駆動力を発生させる磁性体を含み、
前記ミラー板は、前記磁性体から発生する駆動力によって前記トーションバーを中心軸として回転駆動されることを特徴とする電磁力駆動スキャニングマイクロミラー。
IPC (3件)：
G02B 26/10
, G02B 26/08
, H04N 1/113
G02B26/10 104Z
, G02B26/08 E
, H04N1/04 104
2H041AA14
, 2H041AB14
, 2H041AC05
, 2H041AZ02
, 2H041AZ05
, 2H045AB06
, 2H045AB16
, 2H045AB73
, 5C072AA01
, 5C072AA03
, 5C072DA04
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (14件)
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