特許
J-GLOBAL ID：200903011611357750
クリーンルーム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-318695
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159239
出願日： 1995年12月07日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 クリーンルームの汚染を最小限に抑え、かつ低価格で清浄度を向上させる。【解決手段】 作業室1の天井2に設置されかつULPAフィルタ3と小形送風機4とからなるFFU5と、天井2の所定箇所に沿いかつFFU5と対向してFFU5の送風口近傍に設置されたパンチング板付きルーバー6と、FFU5から離れてFFU5とほぼ対向して設置されたグレーティング床7とからなり、FFU5の設置箇所17または未設置箇所18に応じて、孔による開口率が異なったパンチング板付きルーバー6が設けられている。
請求項（抜粋）：
外部雰囲気と遮断され、かつ高清浄度な雰囲気を有する作業室を備えたクリーンルームであって、前記作業室の天井に設置され、かつフィルタと送風機とからなる空気清浄器と、前記天井の所定箇所に沿い、かつ前記空気清浄器と対向して前記空気清浄器の送風口近傍に設置された多孔付き板状部材と、前記空気清浄器から離れて前記空気清浄器とほぼ対向して設置された排気手段とを有し、前記空気清浄器の設置または未設置箇所に応じて、孔による開口率が異なった前記多孔付き板状部材が設けられていることを特徴とするクリーンルーム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F24F 7/06 C
, H01L 21/02 D
