特許

J-GLOBAL ID：200903011617830580

ウェハの位置の誤り検出及び修正装置、及びその方法

発明者： フレデリック ダブリュー フリーアクス ,  ロイド エム バーケン ,  エム ウエニア クリスフィールド ,  ディヴィット ショット ,  マイケル ライス ,  マイケル ホルツマン ,  ウィリアム リームズ ,  リチャード ギルジム ,  ラーンス ライン ,  ジョン エス ブース
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-186727
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064971
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】ウェハ移送ロボットのブレード上のウェハの位置の誤り検出及び修正装置を提供する。【解決課題】本装置は処理チャンバの各入口近くに配置された1つのセンサーで、ブレードに関してウェハの位置を監視することによってウェハ10の位置の誤りを決定する。本装置は、ウェハ取扱いチャンバの表面上の透明なカバー34と前記透明なカバーの面上に配置された光検出センサー60を内蔵する。更に、センサーは、ウェハの位置の誤りを検出し、修正するために、ブレードのスロット26を通して光を反射器62へ向ける。ブレードの孔の端とウェハ10の端の間隔に基づいてブレードに関するウェハの位置が計測され、ウェハがブレード上に正しく置かれているか否かを決定する。

請求項（抜粋）：

ウェハの位置の誤り検出及び修正装置であって、ウェハ取扱いチャンバの外の領域からウェハを入れるための真空のシール可能な開口を有するウェハ取扱いチャンバと、前記ウェハ取扱いチャンバと隣接して配置された少なくとも1つのウェハ保持チャンバであって、前記ウェハ保持チャンバはウェハを入れるのに充分大きな開口及び前記開口を閉めるためのバルブを有するウェハ保持チャンバと、第1の座標方向と第2の座標方向に沿ってウェハを移送することができるウェハ移送ロボットであって、前記ウェハ移送ロボットはウェハを運ぶのに適合した、スロットのあるブレードを有するウェハ移送ロボットと、ウェハが前記ウェハ保持チャンバから引き出され、あるいは前記ウェハ保持チャンバへ置かれるにしたがって、前記スロットの端及びウェハの端を検出するために配置された、少なくとも1つの検出センサーと、前記検出センサーに応答する制御装置であって、前記制御装置は、ウェハ移送ロボットのブレード上に置かれたウェハが変位され、ウェハの変位に対して修正するためにウェハ移送ロボットを制御する制御装置、を有することを特徴とするウェハの位置の誤り検出及び修正装置。