特許
J-GLOBAL ID:200903011619623980

燃焼圧センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-003063
公開番号(公開出願番号):特開平7-209125
出願日: 1994年01月17日
公開日(公表日): 1995年08月11日
要約:
【要約】【目的】 表面に感歪抵抗体を形成された感歪ダイアフラムとシール用の先端ダイアフラムの剛性比を高く保ちつつ、感歪ダイアフラムに充分な歪を与えることによって、熱的に安定で、かつ高ゲインなセンサを得る。【構成】 先端ダイアフラム17に対して感歪ダイアフラム14の剛性を充分高くすることによって先端ダイアフラム17の熱膨張による剛性変化が原因となる出力変動を除去する。さらに、圧力伝達部材16の感歪ダイアフラム14との接合部分に凸部15を設けることによって、先端ダイアフラム17より伝えられた力を増幅して感歪ダイアフラム14に伝達する。これによって、感歪ダイアフラム14に圧力検出に充分な歪を与え、高ゲインなセンサを構成する。
請求項(抜粋):
先端にダイアフラムを有する筺体と、前記筺体の内部に設けられ一端が前記先端ダイアフラムの裏側の面に接し、他端の中心部分に凸部を有する圧力伝達部材と、前記筺体の内部に設けられかつ前記凸部に接し、表面に絶縁層及び感歪抵抗体を構成され、周辺部分を前記筺体に固定された感歪ダイアフラムとから構成され、前記圧力伝達部材と前記感歪ダイアフラムとの接触面積が前記圧力伝達部材と前記先端ダイアフラムとの接触面積に比較して小さいことを特徴とする燃焼圧センサ。
IPC (3件):
G01L 23/08 ,  G01L 9/04 101 ,  G01L 19/04

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