特許

J-GLOBAL ID：200903011622239326

三次元測定装置

発明者： 木村 紀夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-048504
公開番号（公開出願番号）：特開2002-250604
出願日： 2001年02月23日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】 被測定物を高精度かつ短時間に測定する。【解決手段】 球面レンズWのX、Y、Z座標値を測定する光プローブ部6を備えた測定器7を制御すると共に測定器7からの信号を演算処理するコンピュータ9は、球面レンズWの曲率半径と外径を記憶し、球面レンズWの頂点位置の座標値を基準として測定器7の測定ピッチと曲率半径と外径とから測定開始位置を演算し、この測定開始位置を光プローブ部6に位置合わせする。測定に際しては、頂点位置を基準として測定器7の測定ピッチと曲率半径と外径とから測定位置のZ座標値を演算する。測定位置間のZ座標値の差がZ座標方向における合焦範囲内にない場合には、光プローブ部6を合焦範囲内に駆動する。測定位置がX、Y座標方向における測定範囲内にない場合には、次の測定位置を演算してそれを光プローブ部6に位置合わせする。

請求項（抜粋）：

球面を有する被測定物の表面のX、Y、Z座標値を測定可能な測定プローブを備えた測定器と、該測定器を制御すると共に該測定器からの信号を演算処理するコンピュータとから成る三次元測定装置において、前記コンピュータは、被測定物の曲率半径と外径を記憶し、被測定物の表面の最大Z座標値と該最大Z座標値に対応するX、Y座標値とを被測定物の頂点位置の座標値として記憶し、該頂点位置の座標値を基準として前記測定器の測定ピッチと前記曲率半径と前記外径とから測定開始位置を演算し、該測定開始位置と前記測定プローブを位置合わせし、前記測定開始位置から直線上に測定し、前記測定ピッチと前記曲率半径と前記外径とから測定位置のZ座標値を演算し、測定位置間のZ座標値の差がZ座標方向における前記測定器の有する合焦範囲内にない場合に、前記測定プローブを前記合焦範囲内に駆動し、測定位置が被測定物のX、Y座標方向の測定範囲内にあるか否かを判断し、測定位置が測定範囲内にない場合に、測定範囲内となる次の測定位置を演算し、該次の測定位置と前記測定プローブを位置合わせして測定することを特徴とする三次元測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G01B 21/00

FI (3件)：

G01B 11/00 B ,  G01B 21/00 P ,  G01B 11/24 A

Fターム (37件)：

2F065AA04 ,  2F065AA53 ,  2F065BB07 ,  2F065BB22 ,  2F065CC22 ,  2F065DD06 ,  2F065DD19 ,  2F065FF10 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS01 ,  2F065SS13 ,  2F065TT02 ,  2F069AA04 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069CC08 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG11 ,  2F069GG62 ,  2F069GG72 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ22 ,  2F069JJ26 ,  2F069MM24 ,  2F069QQ07