特許
J-GLOBAL ID：200903011627132210
積層セラミツク電子部品の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-211627
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036568
出願日： 1991年07月29日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】 10〜20μm厚の誘電体グリーンシートを積層時に破損させることなく、かつ電極層の印刷に起因したシート欠陥を生じることなく安定して積層する。高価な位置決め用機構を要することなく、比較的僅かな工数で高精度に誘電体グリーンシートを積層して高性能の積層セラミック電子部品を得る。【構成】 プラスチックベースシート11上に誘電体グリーンシート12を形成した複合シート10をそのグリーンシートを接着面としてキャリアプレート13に熱圧着した後、その複合シートからベースシートを剥離してキャリアプレート上にセラミック層12aを形成し、このセラミック層に内部電極層18を印刷形成し、複合シートをそのグリーンシートを接着面として内部電極層が形成されたセラミック層に重ね合せて熱圧着してそのベースシートを剥離し、これらを所定回数繰返してセラミック層と内部電極層からなる積層体19を得る。
請求項（抜粋）：
(a) プラスチックベースシート(11)上に誘電体グリーンシート(12)を形成して複合シート(10)を得る工程と、(b) 前記複合シート(10)をそのグリーンシート(12)を接着面としてキャリアプレート(13)に熱圧着する工程と、(c) 前記キャリアプレート(13)に熱圧着された複合シート(10)からそのベースシート(11)を剥離して前記キャリアプレート上にセラミック層(12a)を形成する工程と、(d) 前記キャリアプレート(13)上のセラミック層(12a)に導電性ペーストを印刷乾燥して内部電極層(18)を形成する工程と、(e) 前記複合シート(10)をそのグリーンシート(12)を接着面として前記内部電極層(18)が形成されたセラミック層(12a)に重ね合せて熱圧着してそのベースシート(11)を剥離する工程と、(f) 前記(d)及び(e)工程を所定回数繰返してセラミック層(12a)と内部電極層(18)からなる積層体(19)を得る工程とを含む積層セラミック電子部品の製造方法。
IPC (2件)：
H01G 4/12 364
, H01G 4/30 311
