特許
J-GLOBAL ID：200903011632951067
可動ミラー装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-149391
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062699
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 反射プレートの有効反射面積を広めることができ、かつ、制作工程が単純で生産効率を向上しうる可動ミラー装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板に電極層を所定パターンで形成する段階と、基板と電極層の上面に厚膜を形成する段階と、厚膜の上面に所定パターンの支持プレートを形成する段階と、支持プレートの上面に所定パターンのマスクを位置させた後、支持プレートと厚膜の一部を蝕刻して少なくとも一つの貫通孔を形成する段階と、支持プレートの上面と貫通孔の内にフォトレジストを塗布し、所定パターンのマスクを位置させた後、露光及び蝕刻して支持プレートの外周部を取り除き、支持プレートを単品に分離する段階と、スパッタリングにより貫通孔内の一側面にポストを形成する段階と、支持プレートの上面に反射プレートを形成する段階と、厚膜を取り除く段階とを含む。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板の上面に形成された複数の電極と、前記電極に対して傾斜するように前記電極の上部に設けられた反射ミラーと、一端が前記基板上の前記電極の間に結合され、他端が前記反射ミラーの下面と一体で結合されて前記反射ミラーを支持し、前記反射ミラーが傾斜するように弾力性を有する少なくとも一つのポストとを含むことを特徴とする可動ミラー装置。
引用特許：
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