撮像対象領域位置決め撮像装置、検査装置、形状計測装置、及び製品製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：中村茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020728
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304044
出願日： 1996年02月07日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】対象及び撮像装置を移動せず、かつ高速に、撮像対象領域を位置決めする撮像対象領域位置決め撮像装置を提供する。【構成】対象Pから到達する光束を受光し、偏向する平面ミラーMφと、この平面ミラーMφとは回転軸が互いに投影的に直交する回転軸を有し、平面ミラーMφからの光束を偏向する平面ミラーMθと、平面ミラーMθからの光束を受け、撮像倍率を決定し、かつ対象の像P’を撮像素子Iに結像させる光学系レンズLとを備え、ステッピングモータにより平面ミラーMφ、Mθを回転軸を中心に機構的に相互に独立して動かして、光束を偏向し、撮像素子Iで、選択位置決めされた対象領域の対象Pを撮像する。

請求項（抜粋）：

対象を撮像する視角を決定するために、対象から到達する光束を受光する角度に受光角を選定する撮像視角決め手段と、対象像を撮像する撮像手段と、この撮像手段に対象像を結像し、かつ撮像倍率を定める結像手段とを備え、撮像対象領域を光学的に位置決めし、対象像を撮像する撮像対象領域位置決め撮像装置であって、前記撮像視角決め手段は、光束を偏向反射するミラー装置を含む光学装置と、視角制御手段からの視角指定信号によって、撮像領域からの光束を結像手段へ向かって反射する角度に、ミラー偏向角度を決定するミラー偏向角度決定手段とを備え、前記結像手段は、結像制御手段からの倍率指定信号に従って、撮像倍率を決定する機能を有するレンズ光学装置であることを特徴とする撮像対象領域位置決め撮像装置。

IPC (7件)：

G01B 11/24 , G01B 11/00 , G01N 21/88 , G06T 7/00 , G06T 1/00 , H04N 7/18 , H05K 13/04

FI (7件)：

G01B 11/24 C , G01B 11/00 C , G01N 21/88 Z , H04N 7/18 B , H05K 13/04 M , G06F 15/62 400 , G06F 15/64 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭63-167981
特開昭62-180252
画像処理システム及び監視システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-241872 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (3件)

特開昭63-167981
特開昭62-180252
画像処理システム及び監視システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-241872 出願人：株式会社日立製作所

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