特許
J-GLOBAL ID：200903011637413543
円筒形の物体の検査
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川口 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202573
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167455
出願日： 1993年07月23日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】円筒形の物体の表面の欠陥を検査する方法及び装置を提供する。【構成】検査すべき物体をその軸線を中心に回転させる手段41、42と、物体が回転している間、物体5、47の表面にスポットを形成すべく放射線の入射ビーム3を投射する投射手段1と、投射手段によって形成されたスポットを回転中の物体に対して並進移動させる手段79、83と、物体の表面による散乱の後の入射ビームの放射線からなる放射線の散乱ビーム6を検出する手段9と、検出手段による検出結果から、入射ビームスポットが形成された部分における被検物体の表面深さについての情報を導き出す手段13、15、17とを含む。
請求項（抜粋）：
円筒形の物体の表面を検査するための装置であって、検査すべき物体をその軸線を中心に回転させる手段と、前記物体が回転している間、該物体の表面にスポットを形成すべく放射線の入射ビームを投射する投射手段と、前記投射手段によって形成されたスポットを回転中の物体に対して並進移動させる手段と、物体の表面による散乱の後の入射ビームの放射線からなる放射線の散乱ビームを検出する手段と、散乱ビームの前記検出手段による検出結果から、入射ビームスポットが形成された部分における被検物体の表面深さについての情報を導き出す手段とを含んでいる、円筒形の物体の表面を検査するための装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G21C 17/06
