レーザ加工用光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：春日讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-167627
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010379
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】レーザ光を照射すべき部分が3箇所あり切断する部分が少なくとも2箇所の場合に必要箇所に必要量のレーザを照射し切断稜線の直線化、照射エネルギーの最小化が可能なレーザ加工用光学装置を大幅な変更無しに実現する。【解決手段】プリズム20、20'を間隔L0で配置し、その中心位置をビーム10Aの光軸から距離eだけ偏心させる。プリズム20、20'を透過したレーザは凸型シリンドリカルレンズ11t、凹型シリンドリカルレンズ11sを通過する。レーザ発振器10からの円形ビーム10Aがビーム分割光学手段20"を通過すると3つに分割され(14'、13'''、13''')、プリズム20、20'の間隔L0の大小に応じて分割したビーム13'''と13'''との間隔mは増減できプリズム20、20'の偏心量eに応じ分割光学装置20"を通過しない部分14'の量が変化する。分割ビーム14'までの距離nが偏心量eと等しいという関係を保って分割ビーム14'と分割ビーム13''',13'''との分割割合が変化する。

請求項（抜粋）：

円形レーザビームを出射するレーザ発振器と、上記レーザ発振器から出射された円形ビームを、その光軸を含む平面に関して対称な形状の第1のビーム分割部分及び第2のビーム分割部分と、上記レーザ発振器から出射された円形ビームの部分のうち、このビーム分割手段に入射されない第3のビーム分割部分とに分割するビーム分割手段と、を備えることを特徴とするレーザ加工用光学装置。

IPC (2件)：

B23K 26/06 , H01L 23/50

FI (3件)：

B23K 26/06 E , B23K 26/06 G , H01L 23/50 B

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