特許
J-GLOBAL ID：200903011648473289
ポリゴンミラー測定器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-045599
公開番号（公開出願番号）：特開平7-253379
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ポリゴンミラーの反射面の精度、反射状態などを容易に測定する。【構成】 被検ポリゴンミラー11をその回転軸を中心に回転させる回転テーブル23、テーブル23の回転角を検出する回転角検出手段、ミラー11に対して検査レーザ光を入射させるレーザ光源31、ミラー11の反射面で反射したレーザ光を受光して受光位置を検出する反射面における反射点を中心とする円周方向に配列した複数の位置検出センサ41Xi 、41Yi 、及び、位置検出センサ41Xi 、41Yi が検出したロータリーエンコーダによって検出されるミラー11の予め定めた特定の回転角位置における反射レーザ光の実入射位置と、この回転角における理想ポリゴンミラーの反射面による反射レーザ光の理想入射位置との差を求め、これらの実入射位置と理想入射位置との差により、反射面の精度を検出するコンピュータ、を備える。
請求項（抜粋）：
被検ポリゴンミラーをその回転軸を中心に回転させる回転テーブル;この回転テーブルの回転角を検出する回転角検出手段;上記被検ポリゴンミラーに対して検査レーザ光を入射させるレーザ光源;このレーザ光源から発せられて上記被検ポリゴンミラーの反射面で反射したレーザ光を受光し、その受光位置を検出する、上記反射面の反射点を中心とする円周上に配列した複数の位置検出素子;及び、この位置検出素子が検出した、上記回転角検出手段によって検出される被検ポリゴンミラーの予め定めた特定の回転角における反射面で反射したレーザ光の実入射位置と、この回転角における理想ポリゴンミラーの反射面による反射レーザ光の理想入射位置との差を求め、この実入射位置と理想入射位置との差により、上記被検ポリゴンミラーの反射面の精度を検出する検出手段;を備えていることを特徴とするポリゴンミラー測定器。
IPC (2件)：
G01M 11/00
, G02B 26/10 102
