特許

J-GLOBAL ID：200903011650888240

近視野光学顕微鏡

発明者： ヘクト、バート ,  ヘインゼルマン、ハロルド ,  ノヴォシー、ルーカス ,  ポール、ヴォルフガング デイ.
出願人/特許権者： インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン
代理人 (1件)： 合田 潔 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-517415
公開番号（公開出願番号）：特表平8-509804
出願日： 1993年10月04日
公開日（公表日）： 1996年10月15日
要約：

【要約】近視野光学顕微鏡、特に検査対象である試料の表面に垂直な方向とは異なる方向で、好ましくは臨界角よりも大きな角度θで近視野から入射する光の強度を決定する手段を備える走査型近視野光学顕微鏡(SNOM)を提供する。本発明によれば、測定した強度をフィードバック・ループで使用することによって、SNOMの検査先端と試料との間の距離を正確に制御することが可能になる。

請求項（抜粋）：

試料(25、35)支持面を有する透明な試料支持手段(21、31)と、 前記試料支持手段の前記支持面に隣接する光の近視野(26、36)を生成する近視野手段(2〜7、22〜24、32〜34)と、 前記支持面と前記近視野手段の間の距離を調整する位置決め手段(4〜7)と、 前記支持面と垂直な方向とは異なる方向に近視野から入射する光、前記支持面の法線から測って好ましくは臨界角θcよりも大きな角度θで入射する光の強度を測定する光検出手段(8、28、281〜283、38、381)とを備える近視野光学顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G02B 21/00

FI (2件)：

G01N 37/00 E ,  G02B 21/00