特許

J-GLOBAL ID：200903011656840568

有機EL素子用の蒸着マスクとその製造方法

発明者： 井上 和彦
出願人/特許権者： 九州日立マクセル株式会社
代理人 (1件)： 折寄 武士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-144124
公開番号（公開出願番号）：特開2004-349086
出願日： 2003年05月21日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：

【課題】マスク本体2と枠体3との間に介在された接着剤層8の変質を防いで、マスク本体2と枠体3との良好な接合状態を長期にわたって維持し、以て発光層の再現精度の信頼性向上に寄与できる有機EL素子用蒸着マスク1およびその製造方法を提供する。【解決手段】パターン形成領域4に臨む接着剤層の側部8aを、パターン形成領域の外周縁4aに電鋳法により積層された電着金属層9で覆う。これにて、洗浄処理等において使用される有機溶媒が接着剤層8に作用することに起因する接着剤層8の変質を効果的に防いで、マスク本体2と枠体3との間の良好な接合状態を長期に亘ってよく維持できる。従って、熱影響によるマスク本体2の寸法変化、形状変化を阻止するという枠体3の機能を良好に担保でき、均一な形状を有する発光層を高精度に再現性良く形成できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

多数独立の蒸着通孔5からなる有機EL素子の発光層形成用の蒸着パターン6をパターン形成領域4内に備えるマスク本体2と、 パターン形成領域4の外周縁4aに接着剤層8を介して固定された、低熱線膨張係数の材質からなるマスク本体2の補強用の枠体3とを含み、 パターン形成領域4に臨む接着剤層8の側部8aが、パターン形成領域4の外周縁4aにメッキ法により積層された金属層9で覆われていることを特徴とする有機EL素子用の蒸着マスク。

IPC (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/04 ,  H05B33/14

FI (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/04 A ,  H05B33/14 A

Fターム (9件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04