特許

J-GLOBAL ID：200903011657512793

スキャナーシステムの変位センサー

発明者： 岡咲 賢哉 ,  酒井 信明 ,  藤本 洋久
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-319735
公開番号（公開出願番号）：特開平11-153405
出願日： 1997年11月20日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】ステージの変位をダイナミックレンジや分解能を切り換えて高精度に検出できる小型な構成のスキャナーシステムの変位センサーを提供する。【解決手段】チューブ型の圧電体スキャナー102は一端が固定台104に固定され、自由端にはステージ108が固定されており、その裏側には鏡110が固定されている。固定台104にはスキャナー102の内側に当たる部分に開口m106が形成されており、その下方に1/4波長板120と偏光ビームスプリッター122と二重焦点光学系130とポジションディテクター124が順に配置されている。偏光ビームスプリッター122の側方には光源112が配置されている。二重焦点光学系130は、これに入射する光を比較的短い第一の焦点と比較的長い第二の焦点のいずれかに適宜集光することができる。ポジションディテクター124は二重焦点光学系130の第一の焦点の近傍に配置されている。

請求項（抜粋）：

チューブスキャナーの自由端に固定されたステージの変位を検出するスキャナーシステムの変位センサーであり、ステージの裏側に固定された鏡と、変位検出のための光ビームを射出する光源と、光源からの光ビームを鏡に導く手段と、鏡で反射された光ビームを第一の焦点または第二の焦点のいずれかに集光させる二重焦点光学系と、第一の焦点または第二の焦点の近くに配置されたポジションディテクターで、二重焦点光学系による焦点の切り換えに応じて受光面に形成されるスポットの径が切り換えられるポジションディテクターと、ポジションディテクターの出カに基づいてステージの変位を算出する演算部とを有しているスキャナーシステムの変位センサー。