X線平面検出装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-186846
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015726
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】 X線平面検出器内に水分が浸透してガラス支持板に反りを生じたり、内部にカビが発生し、或いは機器が劣化する不都合を防止する。【解決手段】ガラス支持板1上にX線検出素子を形成したうえでセレン等のフォトコンダクタ3を蒸着する。そして、このフォトコンダクタ3上に上部電極4を設け、その上から防湿部材5をコーティング処理する。これにより、X線平面検出器内に浸透しようとする水分を防湿部材5で防止することができ、該水分によりガラス支持板1に反りを生ずる不都合を防止することができる。また、内部にカビが発生し、或いは機器が劣化する不都合を防止することができる。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成されたX線検出素子と、前記X線検出素子上に形成され、入射されたX線を、前記X線検出素子で検出可能な形態に変換するX線変換手段と、前記X線変換手段上に積層された防湿手段とを有することを特徴とするX線平面検出装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , G01T 1/20 , G01T 1/24

FI (5件)：

H01L 27/14 K , G01T 1/20 Z , G01T 1/20 D , G01T 1/24 , H01L 27/14 D

Fターム (25件)：

2G088EE01 , 2G088EE27 , 2G088FF02 , 2G088GG20 , 2G088GG21 , 2G088JJ05 , 2G088JJ08 , 2G088JJ10 , 2G088JJ29 , 2G088JJ30 , 2G088JJ33 , 2G088JJ37 , 4M118AA08 , 4M118AB01 , 4M118BA05 , 4M118CA02 , 4M118CA32 , 4M118CB06 , 4M118CB11 , 4M118CB14 , 4M118FB03 , 4M118FB09 , 4M118FB13 , 4M118FB16 , 4M118FB30

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭48-038088
特開昭48-038088
撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-241562 出願人：キヤノン株式会社

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