特許

J-GLOBAL ID：200903011663616070

超音波厚み測定方法

発明者： 白鳥 貴重
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-161662
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361305
出願日： 2003年06月06日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：

【課題】超音波を用いた厚みの測定において、反射波が微小にしか得られない被測定物であっても精度よく厚みの測定を行えるようにする。【解決手段】発せられた超音波についての反射波のうち、被測定物の表面から到来したものと該被測定物の裏面から到来したものとの間での到来時間の差の観測を行い、該到来時間の差から該表面と該裏面との間の距離を算出することによって行われる当該被測定物の厚みの測定を複数回行い、当該測定の度に得られた被測定物の厚みを示す複数個の測定値をS30からS32にかけての工程において取得する。S33の測定値処理の工程においては、反射波として誤って観測され得るノイズの影響を受けていないとみなされる測定値を当該複数個の測定値から抽出し、抽出された測定値に基づいて被測定物の厚みを算出する。この算出された値を被測定物の厚みの測定結果としてS34の工程において提示する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

発せられた超音波についての反射波のうち、被測定物の表面から到来したものと該被測定物の裏面から到来したものとの間での到来時間の差の観測を行い、該到来時間の差から該表面と該裏面との間の距離を算出することによって該被測定物の厚みの測定を行う超音波厚み測定方法において、 前記測定を複数回行うことによって測定の度に得られた前記被測定物の厚みを示す複数個の測定値を取得し、 前記反射波として誤って観測され得るノイズの影響を受けていないとみなされて前記複数個の測定値から抽出される測定値に基づいて算出がされる値を前記被測定物の厚みの測定結果として提示する、 ことを特徴とする超音波厚み測定方法。

IPC (1件)：

G01B17/02

FI (1件)：

G01B17/02 Z

Fターム (10件)：

2F068AA28 ,  2F068BB05 ,  2F068DD10 ,  2F068DD12 ,  2F068FF03 ,  2F068FF12 ,  2F068FF14 ,  2F068FF25 ,  2F068QQ28 ,  2F068QQ29