特許
J-GLOBAL ID:200903011666594395

液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-011693
公開番号(公開出願番号):特開2004-223339
出願日: 2003年01月20日
公開日(公表日): 2004年08月12日
要約:
【課題】1個のワークに要するサイクルタイムを短縮でき、高い効率で製造物を量産することができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供すること。【解決手段】液滴吐出装置1は、装置本体2と、基板搬送テーブル3と、液滴吐出ヘッドを有する第1ヘッドユニット11および第2ヘッドユニット16と、基板搬送テーブル3を水平なY軸方向に移動させるY軸方向移動機構5と、第1ヘッドユニット11および第2ヘッドユニット16をそれぞれY軸方向に垂直かつ水平なX軸方向に移動させるX軸方向移動機構6とを備える。Y軸方向移動機構5およびX軸方向移動機構6は、それぞれ、駆動源としてリニアモータ51を有する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
装置本体と、 ワークが載置されるワーク載置部と、 ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する少なくとも1個の液滴吐出ヘッドを有する2組のヘッドユニットと、 前記ワーク載置部を前記装置本体に対し水平な一方向(以下、「Y軸方向」と言う)に移動させるY軸方向移動機構と、 前記各ヘッドユニットを前記装置本体に対し前記Y軸方向に垂直かつ水平な方向(以下、「X軸方向」と言う)に移動させるX軸方向移動機構とを備え、 前記Y軸方向移動機構および前記X軸方向移動機構は、それぞれ、駆動源としてリニアモータを有するものであり、 前記ワーク載置部と前記各ヘッドユニットとを相対的に移動させつつ、前記各ヘッドユニットの液滴吐出ヘッドから前記ワークに対し液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成することを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (4件):
B05C5/00 ,  B05C13/00 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335
FI (4件):
B05C5/00 101 ,  B05C13/00 ,  G02B5/20 101 ,  G02F1/1335 505
Fターム (22件):
2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H091FA02 ,  2H091FC12 ,  2H091FC29 ,  2H091FD04 ,  2H091FD12 ,  2H091FD14 ,  2H091FD24 ,  2H091LA03 ,  2H091LA12 ,  2H091LA15 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042DF01 ,  4F042DF24 ,  4F042ED03
引用特許:
審査官引用 (5件)
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