特許
J-GLOBAL ID:200903011666594395
液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
増田 達哉
, 朝比 一夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-011693
公開番号(公開出願番号):特開2004-223339
出願日: 2003年01月20日
公開日(公表日): 2004年08月12日
要約:
【課題】1個のワークに要するサイクルタイムを短縮でき、高い効率で製造物を量産することができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供すること。【解決手段】液滴吐出装置1は、装置本体2と、基板搬送テーブル3と、液滴吐出ヘッドを有する第1ヘッドユニット11および第2ヘッドユニット16と、基板搬送テーブル3を水平なY軸方向に移動させるY軸方向移動機構5と、第1ヘッドユニット11および第2ヘッドユニット16をそれぞれY軸方向に垂直かつ水平なX軸方向に移動させるX軸方向移動機構6とを備える。Y軸方向移動機構5およびX軸方向移動機構6は、それぞれ、駆動源としてリニアモータ51を有する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
装置本体と、
ワークが載置されるワーク載置部と、
ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する少なくとも1個の液滴吐出ヘッドを有する2組のヘッドユニットと、
前記ワーク載置部を前記装置本体に対し水平な一方向(以下、「Y軸方向」と言う)に移動させるY軸方向移動機構と、
前記各ヘッドユニットを前記装置本体に対し前記Y軸方向に垂直かつ水平な方向(以下、「X軸方向」と言う)に移動させるX軸方向移動機構とを備え、
前記Y軸方向移動機構および前記X軸方向移動機構は、それぞれ、駆動源としてリニアモータを有するものであり、
前記ワーク載置部と前記各ヘッドユニットとを相対的に移動させつつ、前記各ヘッドユニットの液滴吐出ヘッドから前記ワークに対し液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成することを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (4件):
B05C5/00
, B05C13/00
, G02B5/20
, G02F1/1335
FI (4件):
B05C5/00 101
, B05C13/00
, G02B5/20 101
, G02F1/1335 505
Fターム (22件):
2H048BA02
, 2H048BA64
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 2H091FA02
, 2H091FC12
, 2H091FC29
, 2H091FD04
, 2H091FD12
, 2H091FD14
, 2H091FD24
, 2H091LA03
, 2H091LA12
, 2H091LA15
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA13
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042DF01
, 4F042DF24
, 4F042ED03
引用特許:
審査官引用 (5件)
-
流体塗布装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-154412
出願人:平田機工株式会社, シプレイ・ファーイースト株式会社
-
ペースト塗布機
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-157495
出願人:株式会社日立インダストリイズ
-
フィルター製造装置とフィルター製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-051090
出願人:セイコーエプソン株式会社
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