特許
J-GLOBAL ID：200903011666781683
偏光解析装置および試料測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-051807
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249030
出願日： 1992年03月10日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】試料の膜厚の変化等の測定を最適な条件の下で行うことが可能な偏光解析装置を提供することを目的とする。【構成】対照用試料を試料台21に載置して、ホトマルチチプライヤ20及びコンピュータ23によってP偏光成分およびS偏光成分の振幅反射率比Arp/Arsを検出する。この検出された振幅反射率比によって偏光子16をθr =tan-1(Arp/Ars)1/2 の方位に調整し、この条件の下で試料の測定を行う。
請求項（抜粋）：
対照用試料または被測定試料が載置される試料台と、この試料台に載置された試料に偏光を入射させて偏光状態の変化を検出する偏光子および検光子と、を有する偏光解析装置において、対照用試料が試料台に載置された場合、P偏光成分およびS偏光成分の振幅反射率比Arp/Arsを検出する検出手段と、この検出手段によって検出された振幅反射率比によって、前記偏光子をθr =tan-1(Arp/Ars)1/2 の方位に調整する調整手段と、を具備し、この調整手段によって調整された条件の下で試料の測定を行うことを特徴とする偏光解析装置。
IPC (2件)：
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