特許
J-GLOBAL ID：200903011667985002
最適な動作キャパシタンスを有するピエゾ電子共振器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-183525
公開番号（公開出願番号）：特開2009-027711
出願日： 2008年07月15日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：
【課題】小型のピエゾ電子同調フォーク型共振器を提供する。【解決手段】 本発明のピエゾ電子同調フォーク型共振器は、第1と第2の平行な振動アームが伸びるベースを有する。前記各振動アームは、自由端を形成するフリッパ形状をした拡大部分を有し、前記各振動アームは、基本周波数で振動アームを振動させる一組の励起電極を搭載する。前記一組の励起電極は、前記振動アームの対向した表面上の中央電極と、前記振動アームの側面に沿った側面電極とを有する。前記一組の励起電極は、さらに前記振動アームの正面と裏面の少なくとも一方の上に形成された少なくとも1本の溝を有し、前記溝は、前記振動アームの自由端の方向に前記フリッパの開始点を超えて伸び、前記振動アームは、テーパー形状をしており、前記中央電極は、前記フリッパの開始点には届かない。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ピエゾ電子同調フォーク型共振器において、
第1と第2の平行な振動アームが伸びるベースを有し、
前記各振動アームは、自由端を形成するフリッパ形状をした拡大部分を有し、
前記各振動アームは、基本周波数で振動アームを振動させる一組の励起電極を搭載し、
前記一組の励起電極は、前記振動アームの対向した表面上の中央電極と、前記振動アームの側面に沿った側面電極とを有し、
前記一組の励起電極は、さらに前記振動アームの正面と裏面の少なくとも一方の上に形成された少なくとも1本の溝を有し、
IPC (4件)：
H03H 9/215
, H03H 9/19
, H01L 41/09
, H01L 41/18
H03H9/215
, H03H9/19 K
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101A
5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC08
, 5J108CC09
, 5J108CC12
, 5J108EE03
, 5J108EE07
