特許
J-GLOBAL ID:200903011668674183
複合粉末製造装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
大胡 典夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-008302
公開番号(公開出願番号):特開平10-204613
出願日: 1997年01月21日
公開日(公表日): 1998年08月04日
要約:
【要約】【課題】 本発明は信頼性の高い複合粉末製造装置を提供することを課題としている。【解決手段】 本発明の複合粉末製造装置は、鉛直線に対して予め定めた傾斜角度ほど傾斜させ内側に原料粉末を搭載した皿状の粉末容器4と、粉末容器4と対向して設置され真空蒸着を行なって粉末体表面に複合粉末を製造して被覆するターゲット8と、ターゲットと粉末容器8とを収納して内部を真空または不活性ガス状態に保つ真空容器3と、真空容器3に接続されて真空容器3の内部を真空引きする真空排気装置1と、粉末容器4と連結されて粉末容器4に機械的な運動を与える駆動装置5とを備えたことを特徴としている。【効果】 本発明により複合粉末製造装置の生産性を向上させることができる。
請求項(抜粋):
鉛直線に対して予め定めた傾斜角度ほど傾斜させ内側に原料粉末を搭載した皿状の粉末容器と、この粉末容器と対向して設置され真空蒸着を行なって粉末体表面に複合粉末を製造して被覆するターゲットと、このターゲットと前記粉末容器とを収納して内部を真空または不活性ガス状態に保つ真空容器と、この真空容器に接続されて前記真空容器の内部を真空引きする真空排気装置と、前記粉末容器と連結されて前記粉末容器に機械的な運動を与える駆動装置と、を具備してなる複合粉末製造装置。
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