特許
J-GLOBAL ID:200903011670734541
投影レンズ系
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
韮澤 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-116792
公開番号(公開出願番号):特開平6-331942
出願日: 1993年05月19日
公開日(公表日): 1994年12月02日
要約:
【要約】【目的】 投影レンズ系の実効的な焦点深度の拡大を図る。【構成】 回折光学素子を少なくとも1枚含む投影レンズ系において、回折光学素子の中の1枚7は複数のゾーンからなり、複数のゾーンを透過する光束が光軸方向のわずかに異なる少なくとも2点3、4の位置に結像するように、複数のゾーンが相互に異なる結像作用を有する。このように構成すると、1回の露光で複数の結像面が形成され、その結果、光学像のコントラストを光軸方向に長く維持することができ、実効的焦点深度の拡大を図ることができる。高解像の光学系を使用すれば、解像度の向上と焦点深度の拡大を同時に実現することができる。
請求項(抜粋):
回折光学素子を少なくとも1枚含む投影レンズ系において、該回折光学素子の中の1枚は複数のゾーンからなり、該複数のゾーンを透過する光束が光軸方向のわずかに異なる少なくとも2点の位置に結像するように、前記複数のゾーンが相互に異なる結像作用を有することを特徴とする投影レンズ系。
IPC (2件):
引用特許:
出願人引用 (4件)
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特開昭63-177124
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多焦点眼用レンズ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-189167
出願人:株式会社メニコン
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特開平2-099914
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特開昭63-244002
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審査官引用 (4件)
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特開昭63-177124
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特開昭63-244002
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多焦点眼用レンズ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-189167
出願人:株式会社メニコン
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