特許

J-GLOBAL ID：200903011683800535

温度測定用光ファイバープローブ

発明者： 平野 信介
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-110668
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297072
出願日： 1996年05月01日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【課題】 光ファイバーを利用して被測定物の温度測定を行う場合に、冷却用ガスの影響を防止して正確な温度測定を行う。【解決手段】 蛍光物質3を介してウエハ4と接触するキャップ2の周囲に、断熱空間8を介してキャップ2よりも熱伝導率の低いセラミックスカバー7を設け、キャップ2をウエハ4に接触したとき、蛍光物質3の発光強度の減衰時間からウエハ4の温度を測定する。これにより、キャップ2に下方から冷却用ガスとしてのHeガス6が供給されても、Heガス6はセラミックスカバー7の存在により直接にキャップ2には接触しない。また、断熱空間8の存在によりセラミックスカバー7とキャップ2との間に熱伝導が生じるのは防止される。

請求項（抜粋）：

光ファイバーの先端部に、蛍光物質を介して被測定物と接触する熱伝導体を取り付け、熱伝導体を上記被測定物に接触したとき上記蛍光物質の発光強度の減衰時間から被測定物の温度を測定するようにした温度測定用光ファイバープローブであって、上記熱伝導体の周囲にこの熱伝導体よりも熱伝導率の低い他の熱伝導体を取り囲むように設けたことを特徴とする温度測定用光ファイバープローブ。

IPC (6件)：

G01K 11/20 ,  G01K 1/14 ,  G01K 11/12 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01K 11/20 ,  G01K 1/14 L ,  G01K 11/12 B ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/66 T ,  H01L 21/302 E