磁気記録媒体の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：眞鍋潔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-264793
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093141
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】磁気記録媒体の製造方法に関し、磁気記録媒体に於ける保護膜上に潤滑剤被膜を形成した場合に於けるスティクションの発生を防止し、また、磁気記録媒体の回転時に於ける潤滑剤のスピンオフを抑止できるようにする。【解決手段】非磁性支持体(基板)1上に少なくとも磁気記録層3及びダイヤモンドライクカーボン(DLC)からなる保護膜4を積層形成し、保護膜4の表面をプラズマ処理してから非磁性基板1全体を熱処理し、プラズマ処理及び熱処理された保護膜4の表面に潤滑剤を塗布して被膜5を形成し、潤滑剤被膜5が形成された非磁性基板1の熱処理を行なう。

請求項（抜粋）：

非磁性基板上に少なくとも磁気記録層及びダイヤモンドライクカーボンからなる保護膜を積層形成する工程と、次いで、該保護膜の表面をプラズマ処理してから該非磁性基板を熱処理する工程と、次いで、プラズマ処理及び熱処理された該保護膜の表面に潤滑剤を塗布して被膜を形成する工程と、次いで、該潤滑剤被膜が形成された非磁性基板の熱処理を行なう工程とが含まれてなることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (5件)：

G11B 5/84 , C10M105/54 , C10M107/38 , C10N 40:18 , C10N 80:00

FI (5件)：

G11B 5/84 B , C10M105/54 , C10M107/38 , C10N 40:18 , C10N 80:00

Fターム (12件)：

4H104BD06A , 4H104CD04A , 4H104PA16 , 5D112AA07 , 5D112AA11 , 5D112AA24 , 5D112BC02 , 5D112BC05 , 5D112GA02 , 5D112GA05 , 5D112GA22 , 5D112GB01

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