特許

J-GLOBAL ID：200903011695158715

窒化珪素のクリーニング方法

発明者： 毛利 勇 ,  藤井 正 ,  小林 義幸
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-205628
公開番号（公開出願番号）：特開平6-049627
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：

【要約】【目的】薄膜形成装置、該装置の部品・治具、配管等に付着、堆積した窒化珪素を除去する。【構成】窒化珪素を水素化させた後、該化合物とインターハロゲン化合物ガスあるいはフッ化物ガスを接触反応させる。

請求項（抜粋）：

窒化珪素膜中の水素濃度を増加させ、該化合物とインターハロゲン化合物ガスあるいはフッ化物ガスとを接触反応させることを特徴とする該化合物のクリーニング方法。

IPC (5件)：

C23C 14/22 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/31

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平4-285173