特許

J-GLOBAL ID：200903011701235875

異物検査方法およびその装置

発明者： 三橋 秀男
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 堀 城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-255814
公開番号（公開出願番号）：特開2003-065970
出願日： 2001年08月27日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 高精度な異物検出が可能で、かつ小規模で安価にできること。【解決手段】 斜方照明により撮像した原画像aに基づき、金異物9とバンプエッジ部とがHレベル画素となるしきい値で2値化された検査画像bを生成し、またバンプエッジ部のHレベル画素が必ず連続するように第2のしきい値で2値化されたエッジ画像cを生成する。次に、穴埋め処理して所定回数収縮処理した後、所定回数膨張処理し、その膨張画像fから収縮画像eを差し引いて金バンプ10のエッジ部のみがHレベル画素となる不要物除去画像gを生成し、画像bから画像gを取り除くことで異物画像hを抽出し、検出データiとして出力する。

請求項（抜粋）：

被検物の表面に存在する異物を検出する異物検査方法において、前記被検物の表面を原画像として撮像した後、その原画像に基づいて検査画像を生成する画像生成ステップと、その原画像に基づいて被検物のエッジ画像を生成するエッジ画像生成ステップと、エッジ画像に基づき、被検物のエッジ部のみが所定レベルとなる不要物除去画像を生成する不要物除去画像生成ステップと、画像生成ステップによる検査画像から不要物除去画像生成ステップによる不要物除去画像を取り除き、異物画像を抽出する抽出ステップとを有することを特徴とする異物検査方法。

IPC (6件)：

G01N 21/956 ,  G06T 1/00 305 ,  G06T 7/00 200 ,  G06T 7/60 250 ,  H01L 21/60 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01N 21/956 A ,  G06T 1/00 305 A ,  G06T 7/00 200 A ,  G06T 7/60 250 Z ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/92 604 T

Fターム (43件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051ED30 ,  4M106AA01 ,  4M106AA11 ,  4M106CA41 ,  4M106DB04 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ20 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA16 ,  5B057CB06 ,  5B057CB16 ,  5B057CD05 ,  5B057CE02 ,  5B057CE08 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC32 ,  5B057DC36 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096DA03 ,  5L096EA04 ,  5L096EA05 ,  5L096EA43 ,  5L096FA09 ,  5L096GA08 ,  5L096GA51 ,  5L096JA11 ,  5L096KA13