特許

J-GLOBAL ID：200903011708609290

有機薄膜作製方法及び装置

発明者： 二 梃 木 克 洋 ,  宮 本 明 人 ,  南 部 太 郎
出願人/特許権者： 松下技研株式会社
代理人 (1件)： 蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-048491
公開番号（公開出願番号）：特開平7-256176
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：

【要約】【目的】 有機薄膜の作製段階において、膜物質が凝集するのを防止し、均一度の高い有機薄膜を気/水界面で形成すること。【構成】 ラングミュアー・ブロジェット法による有機薄膜の作製において、膜形成用の有機分子を溶かした溶液を気/水界面に展開する溶液展開手段11と、溶媒の蒸発速度をコントロールする蒸発速度制御手段12、14、15、16を用いて有機薄膜を作製するようにした。展開溶液の溶媒蒸発速度をコントロールすることにより、気/水界面での結晶成長において、より熱力学的に平衡な状態に近い状況を提供することができる。そして、膜物質の微妙な親/疎水性のバランスを利用して均一な単分子層あるいは多分子層から成る薄膜を気/水界面に形成させることができる。

請求項（抜粋）：

ラングミュアー・ブロジェット法による有機薄膜の作製において、気/水界面に展開された溶媒の蒸発速度を制御することにより、形成される有機薄膜の形態を均一化することを特徴とする有機薄膜作製方法。

IPC (3件)：

B05C 3/02 ,  B05D 1/20 ,  H01L 21/312