層の形成方法及びカラー発光装置の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-287328
公開番号（公開出願番号）：特開2002-175878
出願日： 2001年09月20日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】基板上に精度良く材料層を付着形成する。【解決手段】基板10上に、有機EL素子の発光層など、発光材料を付着させて層を形成するにあたり、複数個別パターンで形成される層に応じた開口部110を備え、例えば基板より小面積の蒸着用マスク100を基板10と材料源200との間に配置し、マスク100及び材料源200と、基板10との相対位置を基板10の画素サイズに応じた所定距離毎にスライドさせ、基板の所定領域に材料層(例えば発光層65)を形成する。

請求項（抜粋）：

基板上の複数領域に個別パターンの層を形成する方法であって、前記基板と層材料源との間に、前記層の形成される複数領域の一部に対応した開口部を備えたマスクを配置し、前記マスク及び前記層材料源と、前記基板とを相対的に移動させて前記層材料源から飛来する材料を前記開口部を介して前記基板上に付着させ前記個別パターンの層を形成することを特徴とする層の形成方法。

IPC (5件)：

H05B 33/10 , G09F 9/00 338 , G09F 9/30 365 , H05B 33/12 , H05B 33/14

FI (5件)：

H05B 33/10 , G09F 9/00 338 , G09F 9/30 365 Z , H05B 33/12 B , H05B 33/14 A

Fターム (28件)：

3K007AB04 , 3K007AB18 , 3K007BA06 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA00 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA00 , 3K007FA01 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA29 , 5C094CA19 , 5C094CA24 , 5C094DA14 , 5C094DA15 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA07 , 5C094FB01 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435CC12 , 5G435EE33 , 5G435KK05 , 5G435KK10

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